中图分类号：F426.7

文献标识码：A

文章编号：1005-6432（2026）28-0097-04

DOI: 10.13939/j.cnki.zgsc.2026.28.025

1 引言

工业气体作为现代工业不可或缺的基础原材料，渗透到国民经济的方方面面，不仅是集成电路（试读）...